龙门式光罩清洁装置

摘要

本发明系揭露一种龙门式光罩清洁装置，其系提供二支撑装置，并将其分开置放，而后将一风刀装置装设于两支撑装置之间，并利用一控制装置控制所有组件作动。当要进行清洁之时，把光罩承载装置移至风刀装置下方，这样一来，就可以利用风刀所吹出来的气体对光罩进行清洁了。本发明不但可以避免人员多次近距离接触，更可以缩短清洁光罩的时间提高生产的速度。

主权项

1.一种龙门式光罩清洁装置，其特征在于包含：至少二支撑装置，其系设置于一地面上；一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件作动。