等离子处理方法以及装置

摘要

在等离子处理中，按照得到稳定的放电和较高的输出效率的方式设定给电极之间供电的供电频率的范围。在等离子处理装置中，设置有由对电源电压进行升压的变压器(22)的二次线圈(22b)，和相互对置的一对电极(11)、(12)组成的电极电路(1)。在电极(11)、(12)的至少一方的对置面上设置有固体电介质(13)。电极电路(1)，由二次线圈的漏电感和电极的电容组成LC串联共振电路。将给电极电路(1)供电的供电频率，设定在非放电时的共振频率，与将电极之间的空间(10p)看作导体时的共振频率之间。

主权项

1. 一种等离子处理方法，通过给包括一对电极和电感器的LC电路供电，给所述电极彼此之间的压力为1.013×104～50.663×104Pa下的空间施加电场而引起放电，并进行等离子处理，其特征在于，执行以下工序：预先对所述电极彼此之间的压力为1.013×104～50.663×104Pa的空间在通过放电进行等离子处理时的所述LC电路的固有振荡频率进行推断的工序；设定工序，其按照偏离所述推断固有振荡频率的方式设定对所述LC电路的供电频率；和等离子处理工序，其通过以所设定的频率供电，进行等离子处理。