发明名称 EPOXY FORMULATIONS FOR USE IN LITHOGRAPHY TECHNIQUES
摘要
申请公布号 EP1976900(A1) 申请公布日期 2008.10.08
申请号 EP20070717006 申请日期 2007.01.23
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 CHEN, WEI;HARKNESS, BRIAN, ROBERT;MAGHSOODI, SINA;TONGE, JAMES, STEVEN
分类号 C08G59/22;B29C35/08;C08G59/38;C08G59/68;G03F7/00;G03F7/038 主分类号 C08G59/22
代理机构 代理人
主权项
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