发明名称 纳米碳制造装置
摘要 在纳米碳制造装置(173)中,在制造室(107)内设置平面镜(169)和抛物面镜(171)。由激光束源(111)发射出并透过ZnSe窗(133)的出射光束被平面镜(169)和抛物面镜(171)反射。另外,在用抛物面镜(171)将光束聚焦之后,以所述光束照射石墨棒(101)的表面。
申请公布号 CN100424008C 申请公布日期 2008.10.08
申请号 CN200480017844.1 申请日期 2004.06.22
申请人 日本电气株式会社 发明人 助丈史;吉武务;久保佳实;糟屋大介;饭岛澄男;汤田坂雅子
分类号 C01B31/02(2006.01) 主分类号 C01B31/02(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 樊卫民;杨青
主权项 1. 纳米碳制造装置,其包含:石墨靶;容纳所述石墨靶的室;在所述室的一部分上设置的窗单元;将光通过所述窗单元照射至所述石墨靶表面上的光源;将产生自碳蒸气的纳米碳进行回收的回收单元,所述碳蒸气是由所述光照射而从所述石墨靶蒸发的;以及将透过所述窗的透射光进行反射,从而将所述透射光引导至所述石墨靶的所述表面的反射部件,所述透射光的反射不少于2次。
地址 日本东京