发明名称 |
具有接合垫的半导体装置 |
摘要 |
本发明提供一种具有接合垫的半导体装置。该半导体装置包括:一第一基板,包含一元件区域以及一接合区域,其中该第一基板具有一上表面以及一底部表面;一半导体元件,设置于该元件区域的该第一基板的上表面上;一第一金属间介电层,至少形成于该接合区域的该第一基板的上表面;一最底层的金属图案,设置于该第一金属间介电层之中,其中该最底层的金属图案作为接合垫;以及一开口,穿过该第一基板,且露出该最底层的金属图案。通过本发明,可以获得更佳的CMOS图像传感器的接合垫以及接合导线之间接合品质,例如提升两者的黏合度,借此,可防止接合导线剥落。 |
申请公布号 |
CN101281891A |
申请公布日期 |
2008.10.08 |
申请号 |
CN200710139912.7 |
申请日期 |
2007.08.03 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
刘铭棋;刘源鸿;萧国裕;谢元智;罗际兴;蔡嘉雄 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01);H01L27/146(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
潘培坤 |
主权项 |
1. 一种具有接合垫的半导体装置,包括:一第一基板,包含一元件区域以及一接合区域,其中该第一基板具有一上表面以及一底部表面;一半导体元件,设置于该元件区域的该第一基板的上表面上;一第一金属间介电层,至少形成于该接合区域的该第一基板的上表面;一最底层的金属图案,设置于该第一金属间介电层之中,其中该最底层的金属图案作为该接合垫;以及一开口,穿过该第一基板,且露出该最底层的金属图案。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |