发明名称 具有接合垫的半导体装置
摘要 本发明提供一种具有接合垫的半导体装置。该半导体装置包括:一第一基板,包含一元件区域以及一接合区域,其中该第一基板具有一上表面以及一底部表面;一半导体元件,设置于该元件区域的该第一基板的上表面上;一第一金属间介电层,至少形成于该接合区域的该第一基板的上表面;一最底层的金属图案,设置于该第一金属间介电层之中,其中该最底层的金属图案作为接合垫;以及一开口,穿过该第一基板,且露出该最底层的金属图案。通过本发明,可以获得更佳的CMOS图像传感器的接合垫以及接合导线之间接合品质,例如提升两者的黏合度,借此,可防止接合导线剥落。
申请公布号 CN101281891A 申请公布日期 2008.10.08
申请号 CN200710139912.7 申请日期 2007.08.03
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 刘铭棋;刘源鸿;萧国裕;谢元智;罗际兴;蔡嘉雄
分类号 H01L23/48(2006.01);H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L23/48(2006.01)
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 潘培坤
主权项 1. 一种具有接合垫的半导体装置,包括:一第一基板,包含一元件区域以及一接合区域,其中该第一基板具有一上表面以及一底部表面;一半导体元件,设置于该元件区域的该第一基板的上表面上;一第一金属间介电层,至少形成于该接合区域的该第一基板的上表面;一最底层的金属图案,设置于该第一金属间介电层之中,其中该最底层的金属图案作为该接合垫;以及一开口,穿过该第一基板,且露出该最底层的金属图案。
地址 中国台湾新竹市