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发明名称
Lithographic projection apparatus and reflector assembly for use in said apparatus
摘要
申请公布号
EP1394612(B1)
申请公布日期
2008.10.08
申请号
EP20030077675
申请日期
2003.08.25
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
SCHUURMANS, FRANK JEROEN PIETER;BAKKER, LEVINUS PIETER
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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