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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR THE INSPECTION OF THE CONDITION OF A SAMPLE BY THE USE OF RADIATION WHICH IS REFLECTED FROM THE SAMPLE ONTO A POSITION-SENSITIVE DETECTOR
摘要
申请公布号 EP1336096(B1) 申请公布日期 2008.10.08
申请号 EP20010996733 申请日期 2001.11.12
申请人 PANALYTICAL B.V. 发明人 DE BOER, DIRK, K., G.;VAN LOENEN, EVERT, J.
分类号 G01N23/201;G01N23/20 主分类号 G01N23/201
代理机构 代理人
主权项
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