发明名称 |
可偏转结构、微机械机构和用于调节微机械结构的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种可偏转结构、微机械机构和用于调节微机械结构的方法。其中,可偏转结构包括:包括第一区域和第二区域的层;在所述层中的沟槽结构,所述沟槽结构穿透所述层,并且将第一区域与第二区域分离;第一区域和第二区域之间的第一连接点;以及第一区域和第二区域之间的第二连接点;通过施加力,第一区域可以从相对于第二区域的永久的第一位置永久地移动到相对于第二区域的第二位置,第二位置相对于第一位置偏转。 |
申请公布号 |
CN101279707A |
申请公布日期 |
2008.10.08 |
申请号 |
CN200810081817.0 |
申请日期 |
2008.04.02 |
申请人 |
弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
发明人 |
克里斯蒂安·德拉伯 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81C1/00(2006.01) |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
王波波 |
主权项 |
1.一种可偏转结构,包括:包括第一区域(110;210)和第二区域(112)的层(102);在所述层(102)中的沟槽结构(104),所述沟槽结构(104)穿透所述层(102),并且将所述第一区域(110;210)与所述第二区域(112)分离;所述第一区域(110;210)和所述第二区域(112)之间的第一连接点(106;206);以及所述第一区域(110;210)和所述第二区域(112)之间的第二连接点(108;208);通过施加力,所述第一区域(110;210)可以从相对于所述第二区域(112)的永久的第一位置永久地移动至相对于所述第二区域(112)的第二位置,所述第二位置相对于所述第一位置偏转。 |
地址 |
德国慕尼黑 |