自动显定影机

摘要

本实用新型是一种自动显定影机，其机台上有前、后料篮及一废料槽；转载装置至少包括一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂；定位装置至少包括一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘；加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头；回风装置设置在加工区下方连接抽气马达，至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管，废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。可提高晶圆的产制良好率及产制速度，并降低显定影剂对操作人员的接触机会。

主权项

1. 一种自动显定影机，其特征在于机台上设置一组转载装置、一组定位装置、至少一加工区、以及一回风装置，其中：机台上包括有前、后料篮及一废料槽；转载装置至少包括有一可将晶圆自机台前料篮取出经过定位装置、加工区喷洒显定影剂后置入后料篮的机械臂；定位装置至少包括有一设置在加工区内以挟持于晶圆侧边的定位器、以及一设置在定位器下方以吸附固定晶圆的负压吸盘；加工区具有若干隔板、至少一关闭时可使晶圆被隔离在加工区内喷洒显定影剂的闸门、以及一组对加工区内晶圆喷洒显定影剂的喷头；回风装置设置在加工区下方连接抽气马达，至少包括有一框设在吸盘周围下方的风罩、以及一连接风罩的导流风管，废料槽设于导流风管下方以盛接液态显定影剂。