改善物料搬运效率的方法以及使用该方法的制造系统

摘要

一种改善物料搬运效率的方法。定义一预约计数值与一仓储计数值。一监控程序检查该预约计数值与该仓储计数值。当该预约计数值为0且该仓储计数值为0，一制造执行系统将存放在一预留储位的一在制品载入到一工艺机台，并且将该预约计数值与该仓储计数值分别加1。当该预约计数值为0且该仓储计数值大于0，该制造执行系统将一在制品加载到该工艺机台，并且将该预约计数值加1。当该预约计数值大于0，该制造执行系统预约一在制品，并且将该在制品搬运到该工艺机台。

主权项

1. 一种改善物料搬运效率的方法，其使用于一半导体制造系统，其中上述半导体制造系统至少包括一监控程序、一制造执行系统、一工艺机台、以及一缓冲仓储中之一预留储位，包括下列步骤：定义一预约计数值与一仓储计数值；上述监控程序检查上述预约计数值与上述仓储计数值；当上述预约计数值为一既定值且上述仓储计数值为该既定值时，上述制造执行系统将存放在上述预留储位的一在制品载入到上述工艺机台；将上述预约计数值与上述仓储计数值分别加1；当上述预约计数值为该既定值且上述仓储计数值大于该既定值时，上述制造执行系统将一在制品加载到上述工艺机台；将上述预约计数值加1；当上述预约计数值大于该既定值时，上述制造执行系统预约一在制品；以及将上述在制品搬运到上述工艺机台。