发明名称 HIGH DENSITY PLASMA-CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100861816(B1) 申请公布日期 2008.10.07
申请号 KR20060135947 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址