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发明名称 APPARATUS FOR STORING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100854978(B1) 申请公布日期 2008.08.28
申请号 KR20050027548 申请日期 2005.04.01
申请人 发明人
分类号 H01J11/20;G02F1/13 主分类号 H01J11/20
代理机构 代理人
主权项
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