发明名称 DUAL TECHNOLOGY CONFOCAL AND INTEREROMETRIC OPTICAL PROFILOMETER FOR THE INSPECTION AND THREE-DIMENSION MEASUREMENT OF SURFACES
摘要
申请公布号 KR100854976(B1) 申请公布日期 2008.08.28
申请号 KR20067024000 申请日期 2006.11.16
申请人 发明人
分类号 G01B9/04;A61B3/12;G01B9/02;G01B11/30;G01N21/47;G02B21/00 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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