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发明名称
DUAL TECHNOLOGY CONFOCAL AND INTEREROMETRIC OPTICAL PROFILOMETER FOR THE INSPECTION AND THREE-DIMENSION MEASUREMENT OF SURFACES
摘要
申请公布号
KR100854976(B1)
申请公布日期
2008.08.28
申请号
KR20067024000
申请日期
2006.11.16
申请人
发明人
分类号
G01B9/04;A61B3/12;G01B9/02;G01B11/30;G01N21/47;G02B21/00
主分类号
G01B9/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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