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发明名称 Autokollimationsoptik für drei Achsen
摘要
申请公布号 DE102006062664(B4) 申请公布日期 2008.08.28
申请号 DE200610062664 申请日期 2006.12.23
申请人 BERLINER ELEKTRONENSPEICHERRING-GESELLSCHAFT FUERSYNCHROTRONSTRAHLUNG MBH 发明人 EGGENSTEIN, FRANK;ZESCHKE, THOMAS
分类号 G01B11/27;G02B5/136 主分类号 G01B11/27
代理机构 代理人
主权项
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