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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES INTEGRIERTEN HALBLEITER-BAUELEMENTS
摘要
申请公布号 DE50114133(D1) 申请公布日期 2008.08.28
申请号 DE2001514133 申请日期 2001.10.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MOLL, HANS-PETER;WICH-GLASEN, ANDREAS;TRUEBY, ALEXANDER
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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