用空间相关数据来控制基于薄板的生产流程的神经网络

摘要

用于控制用来生产具有空间相关参数的产品的具有空间相关条件的工艺的系统和方法，例如用于生产基于薄板/薄片的产品的基于薄板/薄片的工艺。包含多个输入数据集的输入数据被提供给(模拟或基于计算机的)神经网络，每个输入数据集包含一个或多个输入参数值，分别包含一个各自的工艺条件或产品参数。输入数据保持输入数据的空间关系。神经网络根据输入数据产生输出数据，输出数据包含多个输出数据集，每个输出数据来包含一个或多个输出参数值，分别包含一个预测的工艺条件或产品参数。输出数据保持与输入数据的空间关系相对应的输出数据空间关系。输出数据可由控制器或操作员用于控制所述工艺。

主权项

1.一种用于控制用来生产具有空间相关特性的产品的具有空间相关条件的工艺的方法，该方法包括：提供输入数据至神经网络，其中输入数据包括多个输入数据集，每个输入数据集包括一组一个或多个输入参数值，其中所述组中的每个输入参数包括各自的工艺条件或产品特性，并且输入数据保持了输入数据的空间关系；并且神经网络根据输入数据产生输出数据，其中输出数据包括多个输出数据集，每个输出数据集包括一组一个或多个输出参数值，每个输出参数包括所预测的工艺条件或产品特性，其中输出数据保持了输出数据的空间关系，并且输出数据的空间关系与输入数据的空间关系相对应；其中输出数据可被控制器或操作员用来控制工艺。