| 发明名称 | 图像增强技术 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种改善在曝光到移动工件上的图像中的至少一个特征边缘陡度的方法，其包括下述步骤：在基本上与工件的移动方向相同的方向上移动所述图像，将图像的移动与曝光辐射源的脉冲长度同步。本发明还涉及一种在工件上产生图案的图案产生器。 | ||
| 申请公布号 | CN101203808A | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
| 申请号 | CN200580049944.7 | 申请日期 | 2005.04.15 |
| 申请人 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 发明人 | 乌尔里克·扬布莱德 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 马高平 |
| 主权项 | 1.一种改善在曝光到移动工件上的印花中的至少一个特征边缘陡度的方法，包括下述步骤：在基本上与工件的移动方向相同的方向上移动表示所述印花的图案，将图案的所述移动与曝光辐射源的脉冲长度同步。 | ||
| 地址 | 瑞典泰比 | ||