| 发明名称 | 用于测量表面轮廓的设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于测量受测对象表面轮廓的设备，包括：测量探头(6)，其被安置得接触受测对象(2)的表面；导向装置(4)，其用于支撑测量探头并沿测量探头的轴向引导测量探头(6)；倾角调节装置(3)，其用于使导向装置(4)相对于水平方向倾斜预定的倾角，以使测量探头(6)以预定的接触力接触受测对象(2)的表面；以及驱动装置，其用于相对地驱动测量探头(6)和受测对象(2)中的至少一个，以便利用测量探头(6)扫描受测对象(2)的表面。在测量探头(6)倾斜时，测量探头(6)的重力产生的倾斜方向分力形成所述接触力。 | ||
| 申请公布号 | CN100395537C | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
| 申请号 | CN02803520.8 | 申请日期 | 2002.09.05 |
| 申请人 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 发明人 | 长池康成;中村靖;伊藤武彦 |
| 分类号 | G01N19/00(2006.01);G01B7/28(2006.01) | 主分类号 | G01N19/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘兴鹏 |
| 主权项 | 1.一种用于测量受测对象(2)的表面轮廓的设备，其包括：测量探头(6)，其被安置得接触受测对象(2)的表面；导向装置(4)，其用于支撑测量探头(6)并沿测量探头(6)的轴向引导测量探头；倾角调节装置(3，23)，其用于使导向装置(4)相对于水平方向以一个倾角倾斜，以使测量探头(6)以一个接触力接触受测对象(2)的表面；以及驱动装置(12)，其用于相对地驱动测量探头(6)和受测对象(2)中的至少一个，以便利用测量探头(6)扫描受测对象(2)的表面；在测量探头(6)倾斜时，测量探头(6)的重力产生的倾斜方向分力形成所述接触力。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||