准分子光照射装置

摘要

本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。

主权项

1.一种准分子光照射装置，对被搬运的基板照射准分子光，其特征在于：在灯壳内并列配置有多根大致棒状的准分子灯，具有传送基板的搬运装置，在所述灯壳内设有间隔壁部件，在该间隔壁部件和各个准分子灯之间形成狭窄部，在该比灯壳内的该狭窄部靠该准分子灯上方形成第一置换空间，在比该狭窄部靠该准分子灯下方即基板侧形成第二置换空间，在该第一置换空间侧设有喷出包括不活泼气体的气体的喷出口。