一种分流式超高和极高真空规校准装置及方法

摘要

一种分流式超高和极高真空规校准装置及方法，采用无油双涡轮分子泵串联抽气机组与非蒸散型吸气剂泵组合方案获得10^-10Pa极高真空；以惰性气体作为校准气体，将气体微流量计流出的惰性气体引入到一个分流室中，利用分流室上两个分子流流导相差100倍的小孔将气体分流到极高真空校准室和超高真空校准室中；在10^-10～10^-7Pa范围内校准时，打开非蒸散型吸气剂泵连接阀门；在高于10^-7Pa范围内校准时，关闭非蒸散型吸气剂泵连接阀门。本发明的装置及方法可用于所有超高和极高真空规的校准，采用的极高真空获得方案运转成本低，由于非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速，既维持了极高真空本底，又不改变校准室的有效抽速。

主权项

1.一种分流式超高和极高真空规校准装置，其特征在于：它由无油双涡轮分子泵串联抽气机组(1)、第一非蒸散型吸气剂泵(2)、第二非蒸散型吸气剂泵(5)、极高真空抽气室(3)、极高真空校准室(7)、第一阀门(4)、第二阀门(8)、第一限流孔(6)、第二限流孔(16)、第一小孔(9)、第二小孔(14)、分流室(10)、第一隔断阀(11)、第二隔断阀(13)、气体微流量计(12)、超高真空校准室(15)、超高真空抽气室(17)、普通分子泵抽气机组(18)组成，无油双涡轮分子泵串联抽气机组(1)与极高真空抽气室(3)相连并从中抽出气体，极高真空抽气室(3)与极高真空校准室(7)连在一起，中间有所述的第一限流孔(6)，第一非蒸散型吸气剂泵(2)和第二非蒸散型吸气剂泵(5)通过第一阀门(4)和第二阀门(8)分别与极高真空抽气室(3)、极高真空校准室(7)相连并从中抽出气体，普通分子泵抽气机组(18)与超高真空抽气室(17)相连并从中抽出气体，超高真空抽气室(17)与超高真空校准室(15)连在一起，中间有所述的第二限流孔(16)，超高真空校准室(15)通过第二隔断阀(13)与分流室(10)相连，气体微流量计(12)通过第一隔断阀(11)与分流室(10)相连，分流室(10)中的校准气体分别通过第一小孔(9)和第二小孔(14)进入极高真空校准室(7)、超高真空校准室(15)。