| 发明名称 | 化学气相淀积的生长设备 | ||
| 摘要 | 化学气相淀积的生长设备，采用射频感应加热，射频感应加热器中间设有石墨反应腔，石墨反应腔置于真空石英管(1)内，在石英管与被感应加热的石墨反应腔(3)之间设有耐高温的热解BN套管(2)组。BN套管组为2-6只套管，套管壁间距、套管壁与石英管壁间距是1mm-10mm。利用多层BN套管组作为辐射蔽罩、有效地降低热辐射所致的能量损失。BN材料导热率低，可实现100℃/mm以上的温度梯度，具有良好的保温效果。石英管内维持较高真空，BN套管之间、BN套管与石英管之间为真空，有助于减少热量损失。 | ||
| 申请公布号 | CN100395373C | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
| 申请号 | CN200610039236.1 | 申请日期 | 2006.03.31 |
| 申请人 | 南京大学 | 发明人 | 韩平;赵红;谢自力;王荣华;王琦;夏冬梅;修向前;张荣;郑有炓 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
| 代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人 | 汤志武;王鹏翔 |
| 主权项 | 1.化学气相淀积的生长设备，采用射频感应加热，射频感应加热器中间设有石墨反应腔，石墨反应腔置于真空石英管(1)内，其特征是在石英管与被感应加热的石墨反应腔(3)之间设有耐高温的热解BN套管(2)组；所述BN套管组为2-6只套管，套管壁间距、套管壁与石英管壁间距是1mm-10mm；套管壁的厚度为0.2-8mm；套管长度为加热件石墨反应腔(3)长度的2-3倍，套管壁间、套管与石英管用BN环隔离、支撑。 | ||
| 地址 | 210093江苏省南京市汉口路22号 | ||