| 主权项 |
1.一种可变形反射镜，其特征在于：具有：基板，以相互分离的状态被所述基板支承的多个微小镜片，以及独立驱动所述多个微小镜片的每一个、从而控制各微小镜片与所述基板的配置关系的多个驱动部；所述多个驱动部的每一个，具有能外加互相独立的驱动电压的多个固定电极，和设置在与所述多个固定电极相对位置的可动电极；所述多个微小镜片的每一个，与所述微小镜片的每一个相关连的至少2个可动电极连接，在所述至少2个可动电极和与所述至少2个可动电极对应的至少2个所述固定电极之间的电位差产生的静电力的作用下，所述多个微小镜片的每一个，既可以进行沿垂直于所述基板方向的位移，也可以进行所述微小镜片相对于所述基板的倾斜，并执行所述位移及倾斜中的至少一方，所述多个驱动部的每一个，具有第1固定电极和第2固定电极；所述第1及第2固定电极的每一个，被分割成能够外加独立的驱动电压的多个固定电极片，所述可动电极具有：被所述基板支承、以转动轴为中心转动的转动部件，和伴随所述转动部件的运动、使所述微小镜片的特定部位与所述基板间的距离变化的作用部件；所述转动部件，具有：配置在所述转动轴上的支承部，和与所述支承部结合的平板部；所述转动部件的所述平板部，包括存在于所述转动轴的对称位置的第1导电性部分及第2导电性部分；所述多个固定电极片，包括：隔着间隙地与所述平板部的第1导电性部分相对的第1固定电极片，和隔着间隙地与所述平板部的第2导电性部分相对的第2固定电极片，通过对所述多个固定电极片有选择地外加驱动电压，使所述转动部件转动且控制所述作用部件的位移，从而能够双向控制与所述多个固定电极片对应的所述微小镜片的各个特定部位的位移，使其朝接近及离开所述基板的方向位移。 |
