一种直排大气的多级罗茨干式真空泵

摘要

本实用新型涉及真空泵技术领域，特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。该泵具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮，主动齿轮、主动转子安装在主动轴上，从动齿轮、从动转子安装在从动轴上，泵体采用多级相连结构，随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有级间隔板分开，并通过级间气流通道相连。本实用新型解决现有技术中一次性投入大、加工难度大、极限真空低、消耗功率大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。本实用新型在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

主权项

1.一种直排大气的多级罗茨干式真空泵，具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮，主动齿轮、主动转子安装在主动轴上，从动齿轮、从动转子安装在从动轴上，其特征在于：泵体采用多级相连结构，随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有级间隔板分开，并通过级间气流通道相连。