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发明名称
摘要
申请公布号	JP4101669(B2)	申请公布日期	2008.06.18
申请号	JP20030017315	申请日期	2003.01.27
申请人		发明人
分类号	G02F1/13;G02F1/1339;G03F7/20;H01L21/68	主分类号	G02F1/13
代理机构		代理人
主权项
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