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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CYLINDRICAL MAGNETRON SPUTTERING USING MULTIPLE ELECTRON DRIFT PATHS
摘要
申请公布号 EP1931813(A2) 申请公布日期 2008.06.18
申请号 EP20060816141 申请日期 2006.10.04
申请人 CARDINAL CG COMPANY 发明人 GERMAN, JOHN, R.;HARTIG, KLAUS
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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