| 主权项 |
1.一种碳纳米管微结构的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)基片准备：对用于制备微结构的基片进行预处理，采用标准微电子清洗工艺处理后烘干备用；(2)碳纳米管浆料制备：提供微结构所需的碳纳米管浆料，所述碳纳米管浆料包括：碳纳米管、可挥发的有机溶剂和乙基纤维素或功能性添加材料，碳纳米管和有机溶剂的质量百分比为9-14∶1，有机溶剂的成分是质量百分比为100∶0.5-3.5的松油醇和乙基纤维素，其中，所述碳纳米管在使用前经过提纯处理，并通过碳纳米管与有机溶剂的球磨搅拌，充分混合制成均匀的碳纳米管浆料；(3)微结构成模：用于在经过步骤(1)处理后的基片上表面，旋涂光致抗蚀有机化合物，制成光刻胶层，并经曝光、显影和坚膜工艺以后形成具有所需图形和高度的微图形结构；(4)碳纳米管压铸：采用压铸方法将步骤(2)所制备的碳纳米管浆料压入步骤(3)所制成的微结构模型中，且使碳纳米管浆料充分注入微结构模型的内部，以及完全涂覆在微结构模型的表面；(5)固化成型：通过加热和保温处理，稳定固化碳纳米管微结构；所述加热和保温处理为：将样品放入加热炉中，然后逐步升高炉温至60～130摄氏度，并持续保温2～5个小时，使得碳纳米管浆料中所包含的有机溶剂成分充分挥发；(6)脱模：通过将经过上述步骤的基片充分浸没在适用于溶解微结构模型的溶液中，当步骤(2)所制成的光刻胶层充分完全溶解、去除、清洗、干燥后，在基片表面上形成碳纳米管微结构。 |
