一种折反射式投影光学系统

摘要

本发明公开了一种折反射式投影光学系统，可以使用光学系统设计的全视场，避免仅有一半视场的可用率，提高了产品的产率；该折反射式投影光学系统使用了两块球面反射镜和一块平面反射镜(具有拦光功能)，避免使用较大尺寸的偏振分光棱镜，同时避免使用深紫外光谱范围内的1/4偏振分光膜，降低了制造难度；该折反射式投影光学系统避免使用超大尺寸的反射镜，降低了超大尺寸球面反射镜的加工和装配难度。

主权项

1.一种折反射式投影光学系统，其特征在于：所述折反射式投影光学系统包括：由第一透镜组和第二透镜组组成的第一透镜系统；与入射主光轴呈45度设置的平面反射镜；反射凹面朝向所述平面反射镜且相互成直角设置的球面反射镜一和球面反射镜二；以及第三透镜组；成像光穿过所述第一透镜系统后，射向所述平面反射镜的背面；所述成像光一部分被所述平面反射镜吸收，未被吸收的部分射向所述球面反射镜一；所述球面反射镜一反射成像光线到所述平面反射镜的反射面；所述平面反射镜的反射面将所述成像光反射到所述球面反射镜二；所述成像光经过所述球面反射镜二反射，一部分被所述平面反射镜遮挡，未被遮挡的部分进入所述第三透镜组在像面成像。