| 发明名称 | 光刻胶膜卷材及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供光刻胶膜卷材及其制造方法，该光刻胶膜卷材在感光性树脂层具有流动性且柔软的情况下可以防止冷流，在感光性树脂层硬的情况下可以抑制切断时产生碎片。光刻胶膜卷材中，按照感光性树脂层(2)的宽度小于支持膜(1a)的宽度的形式进行涂布，并且按照感光性树脂层(2)的宽度小于保护膜(1b)的宽度的形式进行粘接。 | ||
| 申请公布号 | CN101203807A | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
| 申请号 | CN200680021965.2 | 申请日期 | 2006.05.26 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 植松照博;高桥亨;斋藤宏二 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰;赵冬梅 |
| 主权项 | 1.一种光刻胶膜卷材，其用于在基板上形成感光性树脂图案并依次由支持膜、感光性树脂层、保护膜形成，该光刻胶膜卷材的特征在于，所述支持膜和所述保护膜的宽度大于所述感光性树脂层的宽度，并且所述感光性树脂的宽度方向的两端位于所述支持膜和所述保护膜的宽度方向的两端的内侧。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||