发明名称 |
闪光放射装置 |
摘要 |
本发明的目的在于提供一种将闪光放电灯的脉冲电流的时间幅度进一步缩短、能对被处理物进行热处理的闪光放射装置。将从多个闪光放电灯放射的闪光照射到被处理物上的闪光放射装置的特征在于,上述闪光放射装置具有第一闪光放电灯和第二闪光放电灯,第二闪光放电灯的电流的时间幅度小于第一闪光放电灯的电流的时间幅度,在第一闪光放电灯的电流输入之后输入第二闪光放电灯的电流。 |
申请公布号 |
CN101202210A |
申请公布日期 |
2008.06.18 |
申请号 |
CN200710162465.7 |
申请日期 |
2007.10.15 |
申请人 |
优志旺电机株式会社 |
发明人 |
鸟饲哲哉;沟尻贵文 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
钟强;关兆辉 |
主权项 |
1.一种闪光放射装置,将从多个闪光放电灯放射的闪光照射到被处理物上,其特征在于,上述闪光放射装置具有第一闪光放电灯和第二闪光放电灯,第二闪光放电灯的电流的时间幅度小于第一闪光放电灯的电流的时间幅度,在第一闪光放电灯的电流输入之后输入第二闪光放电灯的电流。 |
地址 |
日本国东京都千代田区 |