发明名称 | 通过化学喷雾热解在基材上制备氧化锌纳米棒的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种在350℃-600℃的适宜沉积温度下通过化学喷雾热解,在基材上制备纳米结构氧化锌层的方法。制备包含作为前体的氯化锌或醋酸锌的水溶液或含水醇溶液,并将其喷雾至预热的基材上,以使得前体反应,从而在基材上形成氧化锌层。还可向溶液中加入硫脲或脲。可使用玻璃、硅或覆盖有金属氧化物的玻璃作为基材。 | ||
申请公布号 | CN101203948A | 申请公布日期 | 2008.06.18 |
申请号 | CN200680017046.8 | 申请日期 | 2006.04.13 |
申请人 | 塔林科技大学 | 发明人 | 马勒·克朗克斯;伊洛纳·奥加;泰特加纳·德多瓦 |
分类号 | H01L21/368(2006.01) | 主分类号 | H01L21/368(2006.01) |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋莉 |
主权项 | 1.一种在具有第一表面和第二表面的基材上制备纳米结构氧化锌(ZnO)层的方法,该方法包括下列步骤:加热所述基材至预定温度;采用喷雾技术使包含前体和溶剂的溶液雾化成微小离散的液滴,其中所述前体选自氯化锌(ZnCl2)和醋酸锌(Zn(CH3COO)2);和在所述基材的第一表面上采用预定的溶液供给速率沉积所述雾化溶液,其中当所述溶剂到达所述基材时,所述溶剂蒸发,且所述前体反应形成纳米结构氧化锌层。 | ||
地址 | 爱沙尼亚塔林 |