发明名称 NEGATIVE PHOTOSENSITIVE COMPOSITION FOR SILICON KOH ETCH WITHOUT USING SILICON NITRIDE HARDMASK
摘要
申请公布号 EP1932060(A1) 申请公布日期 2008.06.18
申请号 EP20060803089 申请日期 2006.09.07
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 ZHONG, XING-FU;LI, CHENGHONG;MALHOTRA, JYOTI, K.
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/075 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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