| 发明名称 |
Charged-particle beam apparatus equipped with aberration corrector |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1313125(B1) |
申请公布日期 |
2008.06.18 |
| 申请号 |
EP20020257934 |
申请日期 |
2002.11.18 |
| 申请人 |
JEOL LTD. |
发明人 |
MATSUYA, MIYUKI;KAZUMORI, HIROYOSHI |
| 分类号 |
H01J37/10;H01J37/153;H01J37/252;H01J37/26;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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