低压微机械器件

摘要

驱动装置中多个MEMS器件的方法。将电压脉冲施加到MENS器件的电极或结构部分。电极位于结构部分下方的基片上。多个MEMS器件的至少两个MEMS器件具有不同的阈电压，阈电压是移动结构部分所需的最低电压。偏压被施加到MEMS器件的电极或结构部分的无论哪一个，不会使电压脉冲施加到其上。偏压和电压脉冲能够移动具有不同阈电压的较高阈电压的MEMS器件结构部分。

主权项

1.一种装置，包括：多个微机械器件，每一个包括：基片上的第一结构部分；与第一结构部分相连的第二结构部分，其中第二结构部分包括导电部分且被设置成响应电压脉冲和偏压而移动；以及位于基片上且位于第二结构部分的导电部分之下的电极；第一电路，被设置成将具有脉冲幅度的电压脉冲施加到电极或多个微机械器件的至少一个微机械器件的第二结构部分；以及第二电路，被设置成将偏压施加到多个微机械器件，其中偏压被施加到在施加电压脉冲的步骤中不具有施加到其上的电压脉冲的所述电极或所述至少一个微机械器件的第二结构部分中的那个；其中多个微机械器件的至少两个微机械器件具有不同的阈幅度，每个阈幅度是结合偏压移动第二结构部分所需的电压脉冲的最低电压，偏压和具有所述脉冲幅度的电压脉冲能够移动具有不同阈幅度的较高阈幅度的微机械器件的第二结构部分。