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发明名称 ELECTRODE FOR GENERATING PLASMA AND PLASMA PROCESSING APPARATUS USING SAME
摘要
申请公布号 KR100839250(B1) 申请公布日期 2008.06.17
申请号 KR20060118166 申请日期 2006.11.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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