| 发明名称 |
微电子机械系统 |
| 摘要 |
揭露一种微电子机械系统之实施例。 |
| 申请公布号 |
TW200825017 |
申请公布日期 |
2008.06.16 |
| 申请号 |
TW096136549 |
申请日期 |
2007.09.29 |
| 申请人 |
惠普研发公司 |
发明人 |
瑞玛穆思 斯里兰;密利根 |
| 分类号 |
B81B7/02(2006.01) |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 |
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