抛光垫修整器的表面结构

摘要

一种抛光垫修整器的表面结构,包括复数由内向外依序结合的导电层及绝缘层;该复数绝缘层分别具有复数相对应凸出的尖点,当外层的该绝缘层的尖点断裂时,内层的该绝缘层的尖点突出于断裂处,仍可继续对一抛光垫进行修整作业,以提升修整器的使用寿命;并可进一步利用一电源及一电力感测器分别电性连接该吸附液体的抛光垫及该修整器,藉由该电力感测器显示的的电流或电压的大小,得知该修整器的各层绝缘层的尖点的断裂情况。