对准标记及使用硬遮罩材料之方法

摘要

在一种用以产生一对准标记之方法中,处理氧化层及牺牲层以包含凹口。使用填充物材料来填充该等凹口。在填充凹口期间,在牺牲层上形成一层填充物材料。藉由化学机械研磨来移除该层填充物材料。牺牲层在填充凹口及移除该层填充物材料期间保护氧化层。接着藉由蚀刻来移除牺牲层。此提供一未被刮擦之具有突起的氧化层。使用一导电层来覆盖具有突起之氧化层,藉此该等突起穿过氧化层而形成相关突起。该等相关突起形成一对准标记。