连接基板的设备与方法

摘要

提供一种用以将基板彼此黏接的设备,包括有一上方腔室,其中雇持有一上方基板,与一下方腔室,其中固持有一下方基板(期可被黏接到该上方基板)。可将该下方腔室往上或往下移动以靠进该上方腔室而形成一密封的黏接空间。在该设备之一框上设有一基板承接部件,使得其不会随着该下方腔室的升高或下降而移动。此基板承接部件也会在该下方腔室往下移动时从该下方腔室中突出,或是当该下方腔室往上移动时,缩回到该下方腔室之顶表面中。