发明名称 唯读记忆体及其制造方法
摘要 本发明提供一种唯读记忆体。该唯读记忆体包括一半导体层、一电极及一设置于该电极及该半导体层间之隔离层,该隔离层包括于该半导体层表面依次设置之一第一绝缘层、一载流子存储层及一第二绝缘层,且该载流子存储层包括复数具有界面陷阱之薄膜层。该唯读记忆体有效增加电荷陷阱,提高记忆窗値。本发明同时提供了一种该唯读记忆体之制造方法。
申请公布号 TW200826293 申请公布日期 2008.06.16
申请号 TW095146230 申请日期 2006.12.11
申请人 群创光电股份有限公司 发明人 颜硕廷
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/8246(2006.01);G02F1/13(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 苗栗县竹南镇新竹科学园区科学路160号