TFT LCD玻璃基板之蚀刻装置及其蚀刻方法

摘要

本发明系一种TFT LCD玻璃基板之蚀刻装置及其蚀刻方法,该装置包含二承载匣、二蚀刻清洗槽、清洗槽及乾燥槽;其方法系于一承载匣中放置多数TFT LCD玻璃基板于蚀刻清洗槽进行蚀刻及初步清洗;之后将承载匣移入清洗槽中进行二次清洗,并同时于另一承载匣中放置多数TFT LCD玻璃基板于另一蚀刻清洗槽进行蚀刻及初步清洗;将清洗后承载匣中之TFT LCD玻璃基板于乾燥槽中进行烘乾,并同时使另一承载匣移入清洗槽中进行多数TFTLCD玻璃基板之二次清洗;再将清洗后另一承载匣中之多数TFT LCD玻璃基板于乾燥槽中进行烘乾;藉以可于一次制程中同时完成二个承载匣之多数TFT LCD玻璃基板之蚀刻,达到缩短蚀刻时间及简化蚀刻过程之功效。