绕射光学元件,曝光设备及装置制造方法

摘要

揭露一种绕射光学元件。该绕射光学元件系用于曝光基底之曝光设备的照明光学系统中,及用于形成该照明光学系统之光瞳平面的光强度分布。该绕射光学元件包含彼此具有不同绕射动作的第一绕射元件及第二绕射元件,其中每一该第一绕射元件及该第二绕射元件具有于光照射之照射区中的对称点,及该对称点的共同中心。