| 摘要 |
本发明系液滴滴下时之重量即时量测方法及其装置,量测方法步骤包括:发射一连续波到液滴;接收连续波反射之一脉波讯号;将脉波讯号转换成一强度波形及由强度波形算出每一液滴之重量。量测方法装置包括:一连续波产生器;一转换器连接于连续波产生器;一第一导波管连接于转换器;一循环器具有一第一连接埠、一第二连接埠及一第三连接埠,第一连接埠连接于第一导波管;一第二导波管连接于循环器之第二连接埠;一天线连接于第二导波管;一侦测器连接于循环器之第三连接埠及一示波器连接于侦测器。本发明能提高滴下式液晶注入法之制程良率。 |
