真空蒸镀机台之蒸镀源模组及其蒸镀方法

摘要

真空蒸镀机台之蒸镀源模组及其蒸镀方法,真空蒸镀机台包括有复数蒸镀源模组。每一蒸镀源模组包括有主要蒸镀源、至少一备用蒸镀源以及控制电路,控制电路分别与该主要蒸镀源以及备用蒸镀源电性连接,藉由控制电路使主要蒸镀源以及备用蒸镀源在不同的时域中作动。