利用三五族半导体材料作为闸极电极的方法

摘要

本案系为一种利用三五族半导体材料作为闸极电极的方法,其步骤包含提供一基板;于该基板上形成一闸极介电层;以及于该闸极介电层上形成一三五族半导体材料。