电浆处理设备

摘要

本发明系关于一电浆处理设备,且更明确地,系关于一能够供应压力气体且同时避免微粒(聚积在腔室底部)飘扬的电浆处理设备。本发明的电浆处理设备包括一腔室;一设置在腔室底部以供应压力气体予腔室的吸入/排出部分,该吸入/排出部分系以向上增加其内部直径方式来装设;以及一连结至该吸入/排出部分以供应压力气体予该吸入/排出部分的压力气体源。该设备会更包含一连结至该吸入/排出部分以抽空腔室的真空源。