SISTEMA SENSOR EN CARBURO DE SILICIO (SIC) SEMIAISLANTE, PROCEDIMIENTO DE ELABORACION Y SUS APLICACIONES.

摘要

Sistema sensor en carburo de silicio (SIC) semiaislante, procedimiento de elaboración y sus aplicaciones. La presente invención se refiere a dispositivos realizados con tecnologías microelectrónicas sobre un sustrato de carburo de Si semi-aislante para la monitorización del comportamiento biológico de órganos, tejidos, células o moléculas orgánicas. Igualmente se refiere a su proceso de fabricación.