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发明名称 A METHOD OF VARYING ETCH SELECTIVITIES OF A FILM
摘要
申请公布号 KR100838853(B1) 申请公布日期 2008.06.16
申请号 KR20067013061 申请日期 2006.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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