METODOS QUE UTILIZAN PUNTAS DE MICROSCOPIO COMO SONDAS DE ESCANEO Y LOS PRODUCTOS PARA ESTO O PRODUCIDOS DE ESE MODO.

摘要

Un método de nanolitografía que comprende: proveer un sustrato; proveer una pluralidad de puntas de microscopio como sondas de escaneo, comprendiendo la pluralidad de las puntas una punta para la formación de imágenes y al menos una punta para escritura; recubrir las puntas con un compuesto para dibujar de acuerdo a un patrón o con una pluralidad de compuestos para dibujar de acuerdo a un patrón; y utilizar las puntas recubiertas para aplicar el(los) compuesto(s) al sustrato para producir una pluralidad de un patrón deseado, cada punta para escritura produciendo el mismo patrón que la punta para la formación de imágenes.