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发明名称 VORLÄUFERVERBINDUNGEN FÜR SILICA ODER METALLSILIKATDÜNNSCHICHTEN
摘要
申请公布号 AT396193(T) 申请公布日期 2008.06.15
申请号 AT20050026611T 申请日期 2005.12.06
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 LEI, XINJIAN;RULKENS, RON
分类号 C07F7/04;C23C16/40 主分类号 C07F7/04
代理机构 代理人
主权项
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