| 发明名称 |
Device for the production of plasma or radicals using microwaves |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT504487(A4) |
申请公布日期 |
2008.06.15 |
| 申请号 |
AT20070000919 |
申请日期 |
2007.06.13 |
| 申请人 |
TRAXLMAYR ULRICH DIPL.ING. DR. |
发明人 |
TRAXLMAYR ULRICH DIPL.ING. DR. |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C16/511;H01L21/00 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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